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铝表面高压阳极氧化膜层结构分析

侯朝辉 , 刘建平 , 许岩

中国腐蚀与防护学报

采用X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）和X射线光电子能 谱（XPS）综合分析了铝在磷酸和钨酸钠体系中形成的高压阳极氧化膜的成分、形貌和结构 。XPS结果表明，氧化膜的主要组成元素为O和Al，同时夹杂有少量的P和W。SEM分析发现， 氧化膜呈网状结构，孔隙率约为10个/μm2，孔径大小为0.15～0.20μm。氧化膜大致可以 分为紧密层和疏松层两层。紧密层、疏松层、基体三者之间相互交错，紧密相连。SEM显示 ，紧密层和疏松层中均存在大量的龟裂纹。XRD分析表明，氧化膜呈现非晶态结构，以铝的 氧化物为主要组成成份，同时夹杂有少量的磷酸盐或钨酸盐。

关键词: 铝 , high voltage anodization , film structure and c omposition