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钨螺旋线表面镀金薄膜热可靠性研究

范爱玲 , 李伟田 , 薛迎坤 , 常随杰 , 马捷

稀有金属

钨螺旋线是行波管的关键部件,随着行波管功率量级和工作频率的不断提高,其高频损耗和散热问题更加突出.为了提高钨表面镀金薄膜均匀性和结合力,前期研究了钨螺旋线表面镀覆金膜的方法,并在高温使用条件下测试镀金膜的热稳定性.采用纳米划痕技术测试镀金薄膜和基体之间结合力大小,对预镀铜5,10,15和20 s,镀金均为1.5h后的试样高温(500℃,100 h)处理前后的膜-基结合力进行了对比分析.结果表明:预镀铜5,15和20 s的试样经高温处理后的膜-基结合力大小与室温下相比没有明显降低;预镀铜l0s时的试样经高温处理后的膜-基结合力与室温下相比有所增大.钨螺旋线表面镀金薄膜热可靠性好.

关键词: 钨螺旋线 , 金膜 , 纳米划痕 , 结合力 , 热可靠性

交流电作用下Au薄膜热疲劳失效行为的研究

王鸣张滨刘常升张广平

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2010.00668

本文研究了交流电致循环热应变作用下200 nm厚Au薄膜的失效行为. 结合实验结果和理论计算, 确定了交流电作用下6 μm宽Au薄膜导线上的温度分布, 并由此确定了Au互连线在交流电作用下达到稳定状态后的循环热应变范围. 结果表明, 应变范围Δε≦0.35%, 经过5×106 cyc热循环后, Au互连线中的晶粒出现不同程度的增长, 晶界损伤导致Au互连线的最终失效. 对Au薄膜热疲劳、机械疲劳失效行为及其机制进行了分析.

关键词: Au薄膜 , alternating current , thermal fatigue

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