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化学气相沉积法制备硅质量分数6.5%硅钢的脆性

高超 , 苏芳臣 , 相颖杰 , 孙权 , 陈建钧

机械工程材料 doi:10.11973/jxgccl201512004

采用化学气相沉积(CVD)法制备了硅质量分数为6.5%的硅钢,利用扫描电镜、能谱仪和自主设计研发的三点压弯机研究了反应温度、气氛含氧量和 SiCl4含量对硅钢脆性的影响.结果表明:硅钢的晶粒尺寸随反应温度的升高而长大,硅钢的脆性随着晶粒尺寸的增加而增大;气氛含氧量在100 mg·kg-1时所制备的硅钢产生了晶界氧化现象,使硅钢脆性增加;SiCl4含量较大时(体积分数35%)所制备的硅钢产生了 Kirkendall 空洞,导致其脆性加剧.

关键词: CVD 法 , 硅钢 , 脆性 , 晶界氧化

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