周俊卿
,
程秀兰
,
张衍
,
单川
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.06.002
本文建立了相变存储器存储单元的有限元分析模型,对相变材料以及加热电极热电参数对加热效率、功耗的影响进行了研究.模拟研究表明:引入了随温度变化的相变层热导率,能更精确地模拟器件温度场;加热电极电阻率与相变层电阻率越大,加热效率越高,功耗越低;但为了使加热效率更集中在相变材料层中,加热电极电阻率不能大于相变层电阻率.其中,在相变材料设计选择方面,具有较高电阻率的Si_2Sb_2Te_5较传统的Ge_2Sb_2Te_5更适合应用于低功耗相变存储器的应用;而在底部加热电极的选择上,具有较高电阻率和低热导率的TiN较TiW、W或Ti等电极相比,在低功耗方面更具优势.
关键词:
相变存储器
,
有限元分析
,
电学性能
,
热学性能
,
加热效率
高农农
,
葛林
硅酸盐通报
大幅降低单晶硅的生产成本是光伏行业急需解决的难题之一.本文采用CGSim晶体生长软件,对现有工业单晶炉的热场结构进行了优化并分析了其对加热效率、单晶炉能耗和晶体氧含量的影响.结果表明,随加热器内径的减小,加热器对石墨坩埚的加热效率逐渐提升,进而使加热器的功率大幅下降;同时,熔体中的对流也受到抑制,减小了对流对坩埚壁的冲刷,降低了晶体中的氧含量.当加热器内径为550 mm时,单晶炉的功率降低了25.7％,晶体中的氧含量降低了27.1％,为进一步降低单晶硅的生产成本提供了依据.
关键词:
单晶硅
,
加热效率
,
氧含量
,
能耗
