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氢气对AlN薄膜择优取向的作用机制

姜川 , 周灵平 , 彭坤 , 朱家俊 , 李德意

人工晶体学报

采用脉冲反应磁控溅射方法在Si衬底上沉积了(100)和(002)择优取向的AlN薄膜,随着溅射功率的降低或氢气浓度的增加,放电电压下降,沉积粒子能量降低,薄膜由(002)取向逐渐向(100)取向转变.在溅射气氛中加入氢气后,薄膜中的氧含量降低,表面形貌与表面粗糙度均随着择优取向的改变发生变化.溅射功率及氢气浓度对AlN薄膜择优取向的影响规律表明,氢气主要是通过降低沉积粒子的能量和在衬底表面产生吸附两种作用方式来影响AlN薄膜的择优取向.

关键词: AlN薄膜 , 反应磁控溅射 , 择优取向 , 溅射功率 , 氢气浓度

钢中微孔隙氢压强度与氢浓度

范俊锴 , 杜凤山 , 黄华贵 , 李杰 , 李源

钢铁

从Sieverts定律和微孔隙中分子氢和钢内溶解氢化学势平衡的理论基础出发,介绍了目前已有的几种钢内微孔隙氢压强度和氢浓度计算模型.通过对比找出了最适合应用的微孔隙氢压强度计算模型,并建立了新的微孔隙氢浓度计算模型.最后建立了钢内微孔隙氢压强度和氢浓度综合计算模型,证明了温度和孔隙率对微孔隙内氢压强度和氢浓度的重要影响.所建模型和分析结果为深入研究钢内白点的萌生扩展机制奠定了基础.

关键词: 微孔隙 , 氢压强度 , 氢浓度 , 计算模型 , 白点

氢在X90管线钢中的扩散特性

李康 , 武玮 , 胡海军 , 阎鹏 , 刘冬鹏

腐蚀与防护 doi:10.11973/fsyfh-201604003

利用电化学渗透技术对X90高强度管线钢在0.5mol/L H2SO4中的氢渗透特性进行了研究.获得了不同充氢电流密度、溶液温度和试样厚度条件下X90管线钢的氢扩散规律.结果表明:随着电流密度和试样厚度增大,氢在X90管线钢中的有效扩散系数均逐渐增大,而氢含量则逐渐减小;随充氢溶液温度的升高,有效扩散系数也逐渐增大;并分别获得了有效扩散系数和氢含量与试样厚度的拟合关系式.

关键词: X90管线钢 , 电化学渗透技术 , 扩散系数 , 氢含量

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