材料期刊网

衬底材料对Ti膜形貌及结构的影响

付文博 , 刘锦华 , 梁建华 , 杨本福 , 周晓松 , 程贵钧 , 王维笃

稀有金属材料与工程

使用电子束蒸发法在抛光Mo、石英和单晶硅衬底上沉积Ti薄膜,并用SPM、XRD及SEM对衬底及薄膜的表面形貌和微观结构进行了分析.结果表明:Ti膜的表面形貌和微观结构受衬底材料影响较大.抛光Mo衬底上的Ti膜表面有微小起伏,断面处发现Ti膜先在衬底形核,后以柱状颗粒的形式竖直向上生长;抛光石英衬底上...

关键词: 衬底 , 储氢薄膜 , 电子束热蒸发 , 形核 , 薄膜生长