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H.D. Yang
金属学报(英文版)
Raman spectra and scanning electron microscope (SEM) techniques were used to determine the structural properties of microcrystalline silicon (μc-Si:H) films deposited on different substrates with the very high frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition (VHF-PECVD) technique. Using the Raman...
关键词: hydrogenated , 甚高频等离子体增强化学气
魏晓丽 , 张玲 , 陈厦平 , 王辅明
表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.05.024
目的:通过疏水性质的研究,证明源电极式和浸入式 PECVD 方法制备含氢 DLC 膜存在结构和性质上的差别,并且证明浸入式PECVD方法制备的含氢DLC膜更适于需要强疏水性的表面改性应用。方法在PECVD腔体中通入甲烷和氢气混合气体,同时在面对源电极的绝缘样品架上放置石英基片并沉积类聚合物DLC膜;...
关键词: 类金刚石 , PECVD , 含氢 , 掺氟 , 带隙 , 接触角 , 疏水性
李广忠 , 汤慧萍 , 张文彦 , 李纲 , 赵培
稀有金属材料与工程
氢化处理TiO2纳米管是一种简单而又有效地提高其光解水制氢效率的方法.通过采用FE-SEM、TEM、XRD及XPS等研究,在大气气氛500℃热处理后,接着经300℃氢化处理后,获得了由以锐钛矿组成的TiO2纳米管壁,和在纳米管内壁上高度无序的表面层组成的双相结构的TiO2纳米管阵列,且在纳米管表面形...
关键词: TiO2纳米管 , 光阳极 , 氢化处理 , 光催化分解水 , 氢气