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催化剂水对掺杂氟的氧化锡膜性能与结构的影响

赵洪力 , 刘起英 , 杨静凯 , 刘艳丽 , 张福成

稀有金属材料与工程

采用常压化学气相沉积法(APCVD),以有机金属化合物-单丁三氯化锡(C4H9SnCl3,MBTC)和三氟乙烯(CF3COOH,TFA)为前驱物和掺杂剂,以水为催化剂,在线制备了F掺杂的SnO2膜;采用XRD、SEM、椭偏仪等方法研究催化剂H2O的用量对薄膜的结构和光电性能的影响.结果表明,H2O可...

关键词: 低辐射玻璃 , 在线镀膜 , SnO2膜 , H2O