李铭
,
高倩
,
刘涌
,
宋晨路
,
韩高荣
材料科学与工程学报
SnO2∶F薄膜作为low-e玻璃的表面功能层材料,广泛应用于节能镀膜玻璃。Low-e玻璃在后期退火（深加工）后,其性能的变化已经引起了学术研究和实际应用方面的的关注。我们对于用化学气相沉积法在玻璃表面沉积的约250nm厚的SnO2∶F薄膜进行不同的退火处理。并通过一系列的研究,结果发现,薄膜的结构、组成、电学、光学性能在氮气和空气两种不同的退火气氛下会有显著的变化。SnO2∶F薄膜的Low-e性能经过空气中高温退火后下降明显。通过计算对比退火后SnO2∶F薄膜的晶格常数和晶胞尺寸,提出了一种对于薄膜Low-e性能下降的合理解释。
关键词:
Low-e
,
SnO2∶F薄膜
,
退火
,
常压化学气相沉积
孙瑶
,
汪洪
材料热处理学报
以金属Ag作为红外反射功能层的低辐射多层膜受热易产生团聚,严重损害导电性与低辐射性能.本文提出在金属Ag膜层中掺杂Ti元素,研究Ti掺杂对Ag基低辐射多层膜的团聚抑制作用以及对热处理后性能的影响.采用磁控溅射制备SiN/Ag/SiNx与SiN/Ag-Ti(1.1 at％)/SiNx多层膜,其中Ag(Ti)层厚度为20 nm,并进行真空与非真空热处理(大气环境).通过对比有无Ti掺杂的Ag基多层膜热处理前后的背散射电子形貌、面电阻、辐射率与透光率,发现无论真空还是非真空热处理,Ti掺杂均显著提高Ag膜的热稳定性,抑制团聚的生成.热处理后的面电阻、辐射率与透光率均显著优于未掺杂Ag基多层膜.进一步,观察背散射电子形貌随热处理温度的变化,分析了无掺杂Ag膜团聚的形成过程,并推测了Ti掺杂对Ag膜团聚的抑制机理.
关键词:
低辐射
,
银膜
,
团聚
,
热稳定性
,
掺杂
