熊小梅
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刘敬成
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刘仁
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贾秀丽
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江金强
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刘晓亚
高分子材料科学与工程
通过巯基链转移支化聚合法,以4-乙烯基苄硫醇(VBT)为支化单体,丙烯酸正丁酯(BA)、苯乙烯(St)、丙烯酸(AA)为共聚单体,偶氮二异丁腈(AIBN)为引发剂,丙二醇甲醚醋酸酯(PMA)为溶剂,合成了HBPs.利用甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)环氧基与HBP羧基的反应,向HBP中引入双键制备了具有碱溶性和光固化特性的G-HBP.采用FT-IR、1 H-NMR、DSC、凝胶色谱(GPC)-激光光散射(LS)-示差黏度(DV)三检测仪表征了聚合物的结构及性能,验证了其超支化结构;将合成的G--HBP用作负性光致抗蚀剂的主体树脂,测试了光致抗蚀剂显影成像过程参数.结果表明,显影时间为40 s,去膜时间为30 s,感度级数为7级.抗蚀剂性能优异,分辨率可达到40 μm.
关键词:
超支化
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巯基链转移
,
光致抗蚀剂
