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Fe_x(In_2O_3)_(1-x)磁性颗粒膜的微结构与磁性

张连生 , 张林 , 张汝贞 , 刘宜华 , 张维咸 , 黄宝歆

金属学报

用射频溅射法制备了金属／半导体Fex（In2O_3）(1-x)颗粒膜．用XRD，TEM辅以磁性测量研究了该系列颗粒膜的微结构实验结果表明，纳米尺度的Fe颗粒均匀地分散在非晶态In2O3中．退火可使In2O3晶化，其晶格常数与Fe的体积分数有关；退火可使Fe颗粒长大，由超顺磁性变为铁磁性．

关键词: 金属颗粒膜 , microstructure , semiconductor , super-paramagnetism