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彭开武
中国材料进展 doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2013.12.03
简要回顾了聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统在国家纳米科学中心的应用。围绕透射电镜样品制备、扫描电子显微镜与扫描离子显微镜、纳米材料的二维与三维表征等材料表征，以及离子束直接刻蚀加工如光子晶体阵列器件原型加工、材料沉积加工如用于电学性能测试的四电极制作、指定点加工如原子力显微镜针尖修饰、三维加工、电...
关键词: 聚焦离子束 , 双束系统 , 纳米材料表征 , 纳米结构加工 , 电子束曝光 , 透射电镜样品制备
伍展文 , 李洁 , 阳运国 , 黎松林 , 郑东宁
低温物理学报
利用脉冲激光沉积（PLD）方法制备了La213Ca1／3MnO3（LCMO）外延薄膜．然后利用微纳米加工技术对LCMO薄膜材料进行了局部改造，制造出宽度仅为83纳米的弱联接结构，并对此进行了一系列的物性改变研究．发现在测量电流不变（1μA）的情况下，R～T曲线在120K附近有一个尖锐的跳变，跳变的温...
关键词: 脉冲激光沉积 , 微纳米加工 , 相分离
