陈文彬
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李国栋
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胡琛
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闫思家
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芮大为
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赵启义
功能材料
通过对有机气相沉积中气体的传输过程进行模拟,略述了OVPD传输的基本机制。利用蒙特卡洛法对有机蒸气通过掩膜孔的动力学沉积过程进行仿真,仿真结果表明薄膜的形状受沉积参数的影响,例如,分子平均自由程（沉积压强）、掩膜板的尺寸以及掩膜板至基板的距离。分析表明,通过缩小掩膜板至基板的距离,同时减小沉积压强可以提高所成薄膜图案的分辨率,减小掩膜板的厚度可以提高材料的使用效率。
关键词:
有机气相沉积
,
蒙特卡洛
,
沉积参数
,
分辨率
贲勋
,
易红亮
,
谈和平
工程热物理学报
瞬态偏振辐射的探测与分析在距离选通成像、光学遥感等领域有着重要的应用.本文构建了一个三维多层散射性介质模型,并采用蒙特卡洛法研究瞬态偏振辐射在其中的传输规律.推导并总结了偏振辐射在三维空间界面处的反射和折射公式.通过与一维多层半透明模型计算结果进行对比,验证了该模型的正确性,并给出了短脉冲激光在该模型中传输的算例.
关键词:
三维
,
瞬态辐射
,
偏振
,
蒙特卡洛
