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检索条件：关键词=nano film
王兵 , 熊鹰 , 黎明 , 李凯
材料科学与工艺
为确定两种典型的反应气源对制备纳米金刚石膜的影响,分别以CH_4/Ar/H_2及CH_4/N_2混合气体作为反应源,用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)法制备纳米金刚石薄膜.XRD和Haman分析表明两种气源条件下得到的膜材均为金刚石多晶膜,但用CH_4/N_2气为反应源沉积的膜材中非金刚石相...
关键词: 化学气相沉积 , 金刚石 , 纳米膜 , 气源
张嘉琪 , 郑嗣华 , 黄积涛
无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.00719
采用超声波雾化技术制备TiO2纳米膜, 并对其进行了紫外、扫描电镜、X射线衍射及亲水性能的表征, 讨论了超声波雾化频率对TiO2纳米膜的影响. 分析表明, 此技术可制备均匀致密、粒径为20～80nm、锐钛矿晶相的T...
关键词: 纳米膜 , ultrasonic , atomization , TiO2
王照亮 , 孙铭蔓 , 姚贵策 , 梁金国
工程热物理学报
纳米薄膜与基体之间的界面热输运是MEMS系统热管理和热设计的热点和难点.建立了频率扫描3ω法的热阻抗网络模型.利用频率-电流扫描3ω法和不同厚度薄膜试样得到单层纳米薄膜与基体之间的界面热阻.ZrO2、SiO2增透膜与基体之间的界面热阻分别为0.108 m2·K·MW-1和0.066 m2·K·MW-...
关键词: 纳米薄膜 , 界面热阻 , 频率扫描3ω法 , 电流扫描3ω法 , 声子近界面效应
