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氮化铜薄膜制备中氮气比例对其结构及微观力学性能的影响

龚鹏 , 范真 , 丁建宁 , 程广贵 , 袁宁一 , 凌智勇

表面技术

采用射频磁控溅射方法在玻璃基底上制备氮化铜薄膜,研究了氮氩混合气体中的氮气比例对薄膜择优生长取向、表面晶粒尺寸和微观力学性能的影响.结果表明:低氮气比例时,薄膜的纳米力学性能比较差；随着氮气比例的增加,氮化铜薄膜的择优生长晶面从(111)晶面转变为(100)晶面,晶粒尺寸变小,显微硬度增加,弹性模量则是先增加,后减小.

关键词: 氮化铜薄膜 , 射频磁控溅射 , 微结构 , 纳米力学