材料期刊网

1. 首页
2. 检索结果页

原词结果 | 译词结果

超硬纳米多层膜致硬机理研究

杜会静 , 田永君

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.00769

本文综述了近年来纳米多层膜界面微结构及超硬效应的研究进展, 表明纳米多层膜硬化的主要机制和位错的运动相关, 晶格错配引起的交变应变场对硬化起次要作用, 模量差异致硬起主要作
用. 指出了超硬纳米多层膜研究所存在的问题以及未来的发展方向.

关键词: 纳米多层膜 , superhadness effect

纳米多层膜中的非晶晶化与超硬效应

孔明 , 岳建岭 , 李戈扬

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.01292

通过对TiN/SiC、TiN/TiB₂和TiN/SiO₂纳米多层膜微结构和力学性能的研究, 展示了通常溅射沉积态为非晶的SiC、TiB2和SiO₂薄膜, 在立方结构的TiN晶体层模板作用下的晶化现象, 以及多层膜由此产生的生长结构和力学性能的变化. 结果表明: SiC在层厚0.6nm时晶化为立方结构后,可以反过来促进TiN/SiC多层膜中TiN层的晶体完整性; TiB₂在层厚2.9nm时晶化为六方结构, 并与TiN形成{111} _TiN//{0001} _TiB2, <100> _TiN//<11-20> _TiB2 的共格关系; SiO₂在层厚0.9nm 时晶化为立方结构的赝晶. 多层膜中SiC、TiB₂和SiO₂晶化后都与TiN形成共格外延的生长结构, 并相应产生了硬度升高的超硬效应. 随着SiC、TiB₂和SiO₂层厚的增加, 它们又转变为非晶态, 多层膜的共格外延生长受到破坏, 其硬度亦明显降低.

关键词: 纳米多层膜 , epitaxial growth , crystallization of amorphous , superhardness effect

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词