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沉积激光能量对 CuAlO₂ 薄膜光学性质的影响

邓赞红 , 方晓东 , 陶汝华 , 董伟伟 , 周曙 , 孟钢 , 邵景珍

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.00281

采用脉冲激光沉积法制备了CuAlO₂薄膜. 在沉积激光能量100~180mJ范围内原位沉积的薄膜并在N₂气氛下900℃异位退火1h处理后, 所有薄膜均为高度 c 轴取向的单相CuAlO₂薄膜, 晶粒尺寸~49nm. 随着沉积激光能量的增大, 薄膜厚度增加, 表面颗粒尺寸明显增大, 在可见光区的平均透射率下降. 室温光致发光谱发现, CuAlO₂薄膜在350nm附近有一个自由激子复合发光峰, 说明在CuAlO₂宽带隙半导体中存在直接带间跃迁, 这对于该材料在光电子领域如发光二极管的应用具有重要意义.

关键词: 脉冲激光沉积 , CuAlO₂ films , optical band energy , room-temperature photolumine scence spectra