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溶胶-凝胶法制备K-N共掺ZnO 薄膜的结构及光学特性

张振兴 , 张海军 , 廖梦舟 , 周华 , 谢二庆 , 潘孝军

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.22.020

采用溶胶-凝胶法在 Si(100)衬底上生长了K与N共掺的ZnO 薄膜，并用 X射线衍射仪、扫描电子显微镜、荧光分光光度计、紫外-可见分光光度计对ZnO 薄膜样品的结构和光学特性进行了研究。结果表明，溶胶-凝胶法制备的 ZnO 薄膜为六方纤锌矿结构。随着K掺杂浓度的增大，薄膜的结晶性变好，组成薄膜的...

关键词: ZnO 薄膜 , K-N 共掺杂 , 光学带隙 , 光致发光谱 , 溶胶-凝胶法