杨珂
,
傅东明
,
张金平
,
郑列华
连铸
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2016.01.001
针对非球面反射镜在抛光初期干涉仪不能全口径检测面形误差的问题,提出一种三坐标测量机(CMM)和数字干涉仪组合测量以实现全口径波前复原的方法.将CMM与干涉仪测量数据组合,即面形误差以干涉测量为主,干涉检测不能复原的局部波前采用CMM测量数据进行精细重构,从而获得可用于数字化加工的全口径面形误差,并最终达到非球面镜全口径干涉检测.采用该方法对Φ为540 mm的离轴非球面反射镜在精磨后期进行数据组合补偿,成功实现了反射镜从精磨阶段到抛光阶段的全口径波前检测,从而证明了该方法对实现非球面镜全口径检测有效可行.
关键词:
光学检测
,
波前复原
,
三坐标测量机
,
离轴非球面
宋悦
,
林志贤
,
姚剑敏
,
郭太良
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20153005.0857
针对现有传统亮度计采集背光源亮度的检测方法用时长,不适于生产线的问题,提出一种基于ε-支持向量回归机的背光源亮度均匀性评价方法。设计了背光源亮度均匀性检测平台,采用 CCD 图像传感器一次性同时获得几个背光源亮度图像,并进行校正。通过在非线性条件下的ε-支持向量回归机(ε-SVR)对校正后得到的背光源检测点亮度值构建关于背光源亮度值的预测模型,并对若干个背光源进行预测,与检测标准相比较判断其亮度是否合格。结果表明,在构建的支持向量回归模型中多种参数的融合检测,其精度是相似的。其中,最佳预测结果 RMSE 为43．28,BR 为1．21％。说明预测结果与传统亮度计的测量值之间误差较小,但操作方便、且所用时间更短,对于背光源亮度均匀性的客观评价与亮度计评价结果基本符合。
关键词:
光学检测
,
背光源
,
CCD
,
ε-SVR
