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Cd_(1-x)Zn_xS(x=0.88)多晶薄膜的制备及性能研究

孙震 , 谢晗科 , 狄霞 , 李卫 , 冯良桓 , 张静全 , 武莉莉 , 黎兵 , 雷智

功能材料

采用真空共蒸发法制备了Cd_(1-x)Zn_xS多晶薄膜,研究了Cd_(1-x)Zn_xS(x=0.88)多晶薄膜的结构与光电特性.XRD的结果表明,0<x≤0.9,Cd_(1-x)Zn_xS薄膜为六方结构,高度择优取向;荧光光谱分析与Vegard定理的结果以及石英振荡法监测的Cd_(1-x)Zn_xS多晶薄膜的组分吻合;制备的Cd_(1-x)Zn_xS多晶薄膜的光学透射谱的吸收边随Zn含量的增加发生蓝移,其光学能隙调制在CdS与ZnS能隙之间;最后测量了Cd_(1-x)Zn_xS薄膜室温电阻率及暗电导率随温度的变化情况,计算了Cd_(1-x)Zn_xS薄膜的电导激活能.

关键词: Cd_(1-x)Zn_xS , 多晶薄膜 , 共蒸发 , 光学能隙 , 电导激活能

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