曾祥斌
,
徐重阳
,
饶瑞
,
JOHNNY K O Sin
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2001.04.020
采用NH3和N2O的等离子体分别对p-Si(多晶硅)薄膜表面进行了钝化处理,处理后的p-Si TFT(薄膜晶体管)具有比未处理TFT更优越的性能,通电试验与热应力试验后,处理后的器件呈现出更好的承受电负荷和热应力能力,钝化的微观机理是NH3和N2O等离子体中和了p-Si薄膜的悬挂键,形成牢固的Si-N键,减少了表面态密度.
关键词:
NH3
,
N2O
,
表面钝化
,
p-Si TFT
徐杰
,
杨虹
,
郭树旭
,
李英博
,
郜峰利
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2004.01.009
根据 N 沟道和 P 沟道多晶硅薄膜晶体管(poly-Si TFT)的特性,使用 Orcad 作为辅助工具,设计了应用于132(RGB)×176 TFT-LCD 的栅驱动电路和数据驱动电路.依据132 RGB×176 TFT-LCD的参数对电路进行了模拟,实现了小尺寸液晶屏的 p-Si TFT 周边集成驱动电路的设计.
关键词:
TFT-LCD
,
p-Si TFT
,
Orcad
,
集成周边驱动电路
