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Parylene膜光降解研究进展

曹琼华 , 徐瑞娟 , 王建华

材料导报

综述了国内外Parylene膜光降解的研究现状和进展,介绍了Parylene 膜光降解的机理和一些直观现象,并阐述了光解后Parylene膜的光学性能、热力学性能、电学性能以及透湿透气等性能的变化,为以后Parylene膜的光降解研究提供了方向,为设计使用条件提供了依据.

关键词: 高分子材料 , parylene膜 , 光降解 , 机理 , 性能

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