刘家琴
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曹玉杰
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张鹏杰
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张浩
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衣晓飞
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陈静武
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吴玉程
材料热处理学报
为了提高烧结NdFeB磁体的耐腐蚀性能,采用真空蒸镀的方法在烧结NdFeB磁体表面沉积A1薄膜,并对工艺过程中的工艺参数进行优化.结果表明:真空室温度对Al薄膜的结构及耐腐蚀性能基本没有影响,但温度过高会导致Al薄膜表面岛状结构的增大,造成Al薄膜的厚度一致性难以控制;随着蒸发源温度的增加,Al薄膜的沉积速率逐渐增加,但是随着蒸镀时间的延长,Al薄膜的沉积效率逐渐降低,这是由于Al蒸发原子在基片上冷凝沉积的物理驱动力下降导致的.采用最佳工艺参数制备的厚度为8μm的Al薄膜,耐中性盐雾试验时间可达60 h,且Al镀层的涂覆对NdFeB磁体的磁性能基本没有影响.
关键词:
烧结钕铁硼
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永磁材料
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真空蒸镀
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Al薄膜
,
耐腐蚀性能
