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溅射时间对ZnO/TiO2复合薄膜亲水性的影响

高松华 , 高立华

涂料工业

采用复合靶射频磁控溅射方法制备了ZnO/Ti02复合薄膜,对薄膜500℃退火处理2h.利用XRD和AFM对薄膜的晶体结构和表面微观形貌进行了表征,分析讨论了不同溅射时间下制备的薄膜的亲水性.结果表明:溅射时间为120 min时制备的薄膜经过退火处理后,具有锐钛矿和金红石混晶结构,而且具备最佳的亲水性和光致亲水性.

关键词: 溅射时间 , 退火 , 亲水性 , 光致亲水性