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制作压电器件氧化锌单晶的评述

尹利君 , 李法荟 , 王晓刚 , 余明清 , 张联盟

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.03.022

氧化锌材料制作压电器件已经有很长的研究历史,自从Robert F.Service在1997年报道氧化锌可以在短波长范围实现蓝光输出后,氧化锌单晶在质量和体积方面取得了很大的研究进展.通过对比分析20世纪60年代以来氧化锌单晶压电特性的研究结果,指出迄今为止制作压电器件的氧化锌单晶仍然需要继续优化.

关键词: ZnO , 单晶生长 , 压电器件