Y.F.Hu
,
H.Shen
,
Z.Y.Liu
,
L.S.Wen
金属学报(英文版)
Poly-crystalline sihcon thin film has big potential of reducing the cost of solar cells.In this paper the preparation of thin film is introduced, and then the morphology of poly-crystalhne thin film is discussed. On the film we developed poly-crystaUine silicon thin film solar cells with efficiency up to 6.05 165194876thout anti-reflection coating.
关键词:
poly-crystalline silicon thin film
,
null
,
null
张磊
,
沈鸿烈
,
黄海宾
,
岳之浩
,
李斌斌
功能材料
以SiH4和H2作为反应气体,采用HWCVD的方法分别在石英玻璃、AZO、Si（100）和Si（111）衬底上制备了多晶硅薄膜。利用X射线衍射（XRD）,拉曼（Raman）光谱和傅里叶红外（FT-IR）吸收光谱研究了不同衬底对多晶硅薄膜的择优取向、晶化率和应力的影响,用SEM观察了多晶硅薄膜的表面形貌。研究发现在4种衬底上生长的多晶硅薄膜均为（111）择优取向。单晶硅片对多晶硅薄膜有很强的诱导作用,并且Si（111）的诱导作用优于Si（100）的诱导作用。AZO对多晶硅薄膜生长也有一定的诱导作用。通过计算薄膜晶态比,得到除以石英为衬底的样品外,其它3种样品的晶态比均在90%以上,尤其以单晶硅片为衬底的样品更高。石英玻璃、AZO和Si（100）上生长的多晶硅薄膜中均存在压应力。
关键词:
热丝化学气相沉积
,
衬底诱导
,
多晶硅薄膜
,
结晶性
