高原
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邢安
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殷军港
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秦晓刚
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刘惠涛
高分子材料科学与工程
大多数高分子材料表面硬度低、耐划伤性能差，影响了其使用寿命和应用范围。在高分子基体材料表面制备防护薄膜是一种简单有效的解决方法，成为表面防护的研究热点。然而，大多数高分子及其复合材料的表面自由能低，薄膜与基体问固有的界面粘附力较差，制约了其实际应用。文中探讨了机械啮合、化学键合和热力学粘附等三种主要的粘附机理，阐述了高分子基体材料表面改性的研究进展，指出了不同改性方法的优缺点，提出了薄膜界面粘附力研究存在的问题和发展方向。
关键词:
高分子基体
,
表面改性
,
薄膜
,
粘附机理
张哲浩
,
吕建国
,
江庆军
,
叶志镇
材料科学与工程学报
doi:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2016.03.002
在室温(RT)下,采用直流(DC)磁控溅射在聚碳酸酯(PC)衬底上制备Ga掺杂ZnO(GZO)薄膜.通过X射线衍射(XRD)与基片曲率方法研究薄膜的残余应力.提出并讨论了厚度和溅射功率对GZO薄膜的应力影响并证实所有薄膜的应力均是压缩应力.研究表明随着薄膜厚度的增加,外应力可以得到充分释放.而溅射功率的变化可以改变GZO薄膜的应力和晶粒尺寸.研究表明溅射功率在140W的条件下制备的厚度225nm薄膜具有最大的晶粒尺寸和最小的压缩应力.结果表明改变溅射参数,比如溅射功率和薄膜厚度,GZO薄膜能够有效地释放应力.
关键词:
ZnO∶Ga薄膜
,
应力
,
基片曲率法
,
直流磁控溅射
,
有机衬底
