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工艺参数偏差对纳米压印a-Si太阳电池光学性质的影响

陆晓东 , 张鹏 , 周涛 , 赵洋 , 李媛 , 吕航

人工晶体学报

先基于实际工艺条件和频域有限差分法,优化了纳米压印三角带型a-Si太阳电池织构结构,然后重点探讨了有源层和铝背反镜厚度偏差、SiNx增透膜折射率和厚度偏差及织构结构几何尺寸偏差对a-Si太阳电池光电流密度的影响.研究表明:TM模受有源层和铝背反镜厚度偏差、SiNx增透膜折射率和厚度偏差及织构结构几何...

关键词: a-Si太阳电池 , 纳米压印 , 工艺偏差