欢迎登录材料期刊网
刘其军 , 刘正堂 , 闫锋
电镀与涂饰
为了提高金刚石的红外透过率,根据光干涉膜基础理论对薄膜增透进行了设计,获得了增透膜系的相关参数,并采用非规整设计中的彻底搜索法对所设计的膜系进行了增透效果分析.结果表明,在金刚石衬底上单面和双面镀Y_2O_3膜系后,透过率有明显提高.Y_2O_3膜系是性能优异的金刚石红外光学材料增透膜.
关键词: 金刚石 , 氧化钇 , 薄膜 , 射频磁控反应溅射 , 增透 , 红外透过率 , 设计
