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周期性梯度富硅SiNx薄膜的微结构与发光特性

陈小波 , 杨雯 , 段良飞 , 张力元 , 杨培志

无机材料学报 doi:10.15541/jim20140123

采用磁控共溅射结合快速光热退火技术在单晶硅和石英衬底上制备了含硅量子点的周期性梯度富硅SiNx薄膜(梯度薄膜)和单层富硅SiNx薄膜(单层薄膜).采用Raman光谱、掠入射X射线衍射(GIXRD)、透射电子显微镜(TEM)、傅里叶变换红外(FTIR)光谱和光致发光(PL)光谱分析了薄膜的结构特性、键...

关键词: Si量子点 , 氮化硅薄膜 , 快速光热退火 , 光致发光