王灿
,
陈宁
,
刘英伟
,
赵磊
,
薛大鹏
,
杜建华
,
郭炜
,
王路
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20163103.0276
氧化铟锡(ITO)是薄膜晶体管工艺中最常用的透明导电薄膜,随着OLED技术的发展,ITO作为透明阳极材料也被广泛应用.在高厚度(尤其是大于70 nm)非晶ITO工艺过程中,由于多种因素的影响,很容易产生残留,发生残留后会严重影响产品质量和项目进度.本文通过多次实验测试,综合多种不同厚度,尤其是针对高厚度非晶ITO,分析了TFT制程中影响残留的多种因素,考察重点因素及影响规律,有效地修正工艺条件,为之后的项目和生产过程提供了很好的参考价值.
关键词:
薄膜晶体管
,
非晶氧化铟锡
,
残留
,
成膜
,
刻蚀
方百友
,
杨敏娜
,
贺泽邦
,
卢琳
中国材料进展
doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2016.05.11
为了研究轧制过程中冷轧汽车板表面残留物的影响因素，及其对钢板表面耐蚀性能的影响，运用扫描电化学极化曲线对不同表面状态冷板的腐蚀行为进行了对比研究，并运用室内模拟腐蚀实验对钢板不同位置的工间防锈性能进行了评价。结果表明钢板表面残油量越多，残铁量越少，其表面腐蚀电流密度越小，耐蚀性能越好，这与残油所具有的物理屏蔽作用有关。与轧制参数差异带来的影响相比，轧制油的种类是影响钢板表面残留物的关键因素，进而影响钢板的防锈性能。工间防锈实验结果表明，钢板表面不同位置存在明显的电化学状态不均匀性，但所有位置试样在存储期的前3天内均可保持较好的耐蚀状态。相对来说，中间位置试样的平均锈蚀度最小，腐蚀电流密度最小，可见中间位置的残油较多、分布较均匀，阻碍了锈蚀的发生。
关键词:
冷轧板
,
残留物
,
电化学腐蚀
,
工间防锈
,
存储环境
郑光明
,
赵军
,
程祥
,
徐汝锋
,
李丽
中国有色金属学报
针对高速切削航空难加工材料镍基高温合金时对高性能刀具的迫切需求,采用热压烧结工艺,制备sialon梯度微纳米复合陶瓷刀具材料,研究烧结温度、保温时间、梯度层数对刀具材料力学性能及显微组织的影响.利用X射线衍射仪分析材料的物相组成,通过扫描电子显微镜和透射电子显微镜对微观形貌进行分析.结果表明:在1750℃烧结、压力35MPa、保温60 min的条件下,成功合成了β-sialon.具有7层梯度结构的刀具材料在此工艺条件下可获得最优的力学性能:抗弯强度σf =840 MPa,表层维氏硬度HV为17.32 GPa,表层断裂韧性KIC=8.96 MPa.m1/2,表层残余应力σr=-423 MPa,满足刀具材料的使用要求.微纳米颗粒的同时加入和合理的梯度结构是获得较高力学性能的主要原因.
关键词:
微纳米复合
,
残余应力
,
梯度陶瓷刀具
,
热压烧结
,
力学性能
