李艳艳
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刘正堂
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谭婷婷
稀有金属材料与工程
采用磁控溅射法,以ITO/Glass为衬底,制备了具有电阻转变特性的HfO2薄膜.X射线光电子能谱(XPS)分析发现,薄膜中的Hf、O元素不成化学计量比,薄膜中可能存在大量氧空位.电学测试结果表明,HfO2薄膜表现出明显的双极电阻转变特性,并且表现出良好的可靠性(室温下可重复测试102次以上)和稳定的保持性能(0.5 V偏压下保持104 s以上),高低阻态比值达到104.基于XPS以及电学分析,薄膜的导电过程可用与氧空位相关的空间电荷限制电流模型解释.
关键词:
磁控溅射法
,
HfOx薄膜
,
电阻转变特性
,
双极性
刘新军
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李效民
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王群
,
杨蕊
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曹逊
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陈立东
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00151
以Pt/Ti/SiO_2/Si为衬底,制备了具有电阻转变特性的Ti/La_(0.7)Ca_(0.3) MnO<3>(LCMO)/Pt结构器件.X射线衍射分析表明LCMO薄膜呈纳米晶或非晶态,扫描电子显微镜及原子力显微镜分析表明LCMO薄膜表面平整、光滑致密.电学测试结果表明Ti/LCMO/Pt结构具有明显的双极型"负"电阻转变特性,低电阻态的导电过程为空间电荷限制电流机制,高电阻态的导电过程为Poole-Frenkel发射机制.利用氧化还原反应的随机性和TiO_x中间层空间分布的不均匀性,定性地解释了高电阻态的不稳定性以及电流一电压曲线上的电流突变现象.
关键词:
脉冲激光沉积法
,
电阻开关
,
电脉冲诱发电阻转变
,
锰氧化物薄膜
