张利静
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方华靖
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严清峰
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沈光球
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王晓青
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沈德忠
人工晶体学报
本文以ZnO为种子层采用溶胶-凝胶法制备了Li、Mg掺杂的氧化锌薄膜.利用XRD、SEM、PL等手段对薄膜的结构、表面形貌和发光性能进行了表征,研究了不同掺杂情况、种子层、旋涂次数对Li、Mg掺杂的ZnO薄膜性能的影响.结果表明预铺种子层、旋涂8次、在580℃下退火的条件下制得的薄膜性能最好,通过L...
关键词:
氧化锌薄膜
,
溶胶-凝胶法
,
种子层
,
旋涂
,
光致发光
吴洋
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王咏云
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万其超
电镀与涂饰
doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2004.04.001
集成电路工业目前多使用如氮化钛、氮化钽等氮化物作为防止铜扩散的阻挡层.然而,在氟离子存在的情况下,铜、银和钯等金属离子会与氮化物发生自发性的置换反应,并造成金属的沉积.所沉积出的钯金属尽管被认为是污染物,但其可作为后续电镀铜工艺的晶种层.此外,利用化学镀技术可成功在活化后的二氧化硅上沉积出镍钼磷薄膜...
关键词:
置换反应
,
阻挡层
,
晶种层
,
铜内联
方华靖
,
严清峰
,
王晓青
,
沈德忠
人工晶体学报
通过水热生长的预处理步骤在普通玻璃载玻片表面铺设种子层,然后采用旋涂法在处理好的衬底上涂覆前驱体溶胶,成功地制备出沿(002)晶面择优取向生长的Al掺杂的ZnO薄膜(AZO)薄膜.利用X射线衍射分析、扫描电镜表征薄膜形貌,并测定薄膜的透射率及电阻率.研究了种子层对AZO薄膜结晶性能、表面形貌及光电性...
关键词:
AZO薄膜
,
种子层
,
溶胶凝胶
,
光电性能
彭寿
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汤永康
,
王芸
,
金良茂
,
甘治平
,
王东
,
王萍萍
,
操芳芳
硅酸盐通报
本文采用溶胶-凝胶法以提拉的方式在普通玻璃基底上制备出n型掺杂具有优良光电性能的氧化锌掺铝(AZO)薄膜,并以磁控溅射AZO薄膜为种子层引导液相法所制备AZO薄膜生长.Al掺杂浓度区间为0.25at％～5.00at％.通过X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、轮廓仪、方块电阻测试仪、霍尔效应测试仪、紫...
关键词:
Al掺杂浓度
,
种子层
,
铝掺杂氧化锌薄膜
,
光电性能
