沈岩柏
,
范安锋
,
张宝庆
,
曹先敏
,
魏德洲
,
刘文刚
,
高淑玲
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.07.026
采用直流反应磁控溅射法，在室温条件下通过改变放电气体压强制备出具有不同膜密度的 WO3薄膜。结构表征结果表明，由单斜晶 WO3纳米颗粒组成的薄膜具有层状结构，随着放电气体压强的增加，膜密度呈下降趋势。气敏特性研究结果表明，由 WO3薄膜制备而成的气体传感器在工作温度为200℃时获得对NO2气体的最大灵敏度，并在50~300℃的工作温度范围内对 NO2气体均展现出良好的气敏特性。在相同的检测条件下，气体灵敏度随着膜密度的减少而增加。
关键词:
WO 3
,
薄膜
,
磁控溅射
,
NO 2
,
气敏特性
