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硅纳米孔柱阵列的场致电子发射

富笑男 , 符建华 , 罗艳伟 , 李坤 , 程莉娜 , 李新建

功能材料

测试了用水热技术制备的硅纳米孔柱阵列(silicon nanoporous pillar array(简称Si-NPA))的场致发射性能.测试结果显示,Si-NPA的开启电场为约1.48V/μm;在5V/μm的外加电场下,其发射电流密度为28.6μA/cm~2;在外加电场4.4V/μm时,其电流浮动率为13%.Si-NPA发射性能增强的原因是由于其独特的表面形貌和结构所致.

关键词: 硅纳米孔柱阵列 , 场致电子发射 , 纳米硅 , 多孔硅

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