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周期性梯度富硅SiNx薄膜的微结构与发光特性

陈小波 , 杨雯 , 段良飞 , 张力元 , 杨培志

无机材料学报 doi:10.15541/jim20140123

采用磁控共溅射结合快速光热退火技术在单晶硅和石英衬底上制备了含硅量子点的周期性梯度富硅SiNx薄膜(梯度薄膜)和单层富硅SiNx薄膜(单层薄膜).采用Raman光谱、掠入射X射线衍射(GIXRD)、透射电子显微镜(TEM)、傅里叶变换红外(FTIR)光谱和光致发光(PL)光谱分析了薄膜的结构特性、键合特性和发光特性.Raman光谱、GIXRD和TEM结果表明,梯度薄膜和单层薄膜中的硅量子点晶化率分别为41.7%和39.2%;梯度薄膜的硅量子点密度是单层薄膜的5.4倍.FTIR光谱结果显示两种薄膜均为富硅氮化硅薄膜,梯度薄膜的硅含量小于单层薄膜.PL光谱结果表明梯度薄膜中的辐射复合缺陷少于单层薄膜.

关键词: Si量子点 , 氮化硅薄膜 , 快速光热退火 , 光致发光

低能质子辐照活体细胞的能量沉积特性

张宁 , 张鑫 , 闫学文 , 林崇楠 , 王广甫 , 邵剑雄 , 陈熙萌

原子核物理评论 doi:10.11804/NuclPhysRev.33.03.353

为了研究带电粒子与活体细胞的相互作用,利用能量为2,2.5,3 MeV的质子外束,在室温环境下对厚约50 nm的氮化硅支持膜上的毕赤酵母菌进行辐照,并用金硅面垒探测器测量其透射能谱,通过对能量沉积特性的分析,表明质子外束穿过毕赤酵母菌后能损随入射能的增大而减小,但能量歧离随入射能的增大而增大。

关键词: 质子外束 , 活体细胞 , 氮化硅薄膜 , 能损

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