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Residual stress analysis on silicon wafer surface layers induced by ultraprecision grinding

稀有金属（英文版） doi:10.1007/s12598-011-0383-5

关键词:

Microstructure studies of the grinding damage in monocrystalline silicon wafers

稀有金属（英文版）

关键词:

Stress relaxation of Si/Si1-xGex/Si structure prepared by ion implantation and subsequent annealing process

稀有金属（英文版） doi:10.1007/s12598-011-0381-7

关键词:

硅片切割废砂浆的资源化利用现状

侯思懿 , 铁生年

硅酸盐通报

文中概述了近几年硅片切割废砂浆的资源化利用现状,涉及的回收技术包括聚乙二醇回收、硅的直接回收、硅的间接回收、碳化硅回收及切割废砂浆的直接回收.通过分析资源化利用存在的问题,指出以切割废砂浆为原料的直接回收技术不失为一种较好的大规模回收方法.

关键词: 硅片 , 切割 , 废砂浆 , 资源化利用