孙蓉
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徐洮
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寇冠涛
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薛群基
无机材料学报
通过离子注入技术对单晶硅表面进行氩离子注入处理,利用纳米压痕仪及其附件研究了单晶硅表面在离子注入前,后的微观力学性能和变形机理,并用透射电子显微镜研究了改性层的微观结构.研究结果表明:一定剂量的氩离子注入使单晶硅表面的断裂韧性得到改善, 提高了其在纳米划痕过程中的失效负荷.原因是氩离子的注入使单晶硅表面形成了硅的微晶态与非晶态共存的混合态结构的改性层,改善了单晶硅的微观力学性能.
关键词:
单晶硅
,
Ar+ implantation
,
nano-scratch
,
fracture toughness
王立娟
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周炳卿
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那日苏
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金志欣
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田晓
材料科学与工程学报
对晶向为（100）的p型单晶硅片进行表面刻蚀,制作减反射绒面。本实验是在传统氢氧化钠-异丙醇混合液中分别加入不同浓度的醋酸钠溶液、硅酸钠溶液和碳酸钠溶液对单晶硅片进行刻蚀。实验发现：分别加入醋酸钠溶液、碳酸钠溶液并没有在降低表面反射率方面起到很大作用,而只有加入硅酸钠溶液降低了表面反射率,有利于形成较好的腐蚀绒面。因此,在传统氢氧化钠-异丙醇混合液中添加一定浓度硅酸钠溶液能够制备出平均反射率较低的减反射绒面。
关键词:
单晶硅
,
表面形貌
,
腐蚀
,
醋酸钠
,
硅酸钠
吴虎城
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张德坤
,
李伟
材料科学与工艺
以不同能量的碳离子注入方法得到的单晶硅片作为研究对象,利用原位纳米力学测试系统对其纳米硬度和弹性模量进行测定,在UMT-2型摩擦试验机上进行摩擦试验,利用S-3000N型扫描电镜表征其磨损后的磨痕形貌.结果表明,碳离子注入后硅片的纳米硬度和弹性模量发生变化,注入后硅片的的减摩效果和耐磨性能在0.1～0.3 N载荷下得到了大幅度提高.注入前单晶硅片的磨损机制在0.1 N载荷下以粘着磨损为主,在0.6 N载荷下以疲劳剥落为主;注入后单晶硅片的磨损机制以粘着磨损为主.
关键词:
单晶硅
,
离子注入
,
摩擦磨损性能
