白海力
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姜恩永
金属学报
在473—523K的低温退火条件下，通过对CoN／CN软X射线多层膜一级调制峰强度增强的定量观测，研究了CoN／CN软X射线多层膜的界面互扩散行为，并测得低至10-25m2s-1的有效扩散系数通过和Co/C多层膜的结果相比较，发现N掺杂使CoN／CN软X射线多层膜的界面互扩散行为明显不同于Co／C多层膜，并具有如下特点：（1）有效扩散系数和宏观扩散系数较小；（2）扩散激活能较大；（3）临界波长相等Co—N，C—N之间存在的强化学键以及N原子的填隙，减小了结构弛豫和界面扩散这表明通过N掺杂有希望改善Co／C软X射线多层膜的结构热稳定性.
关键词:
软X射线多层膜
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multilayer
,
interdiffusivity
,
doping
