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溶剂、溶胶稳定剂和热处理对溶胶--凝胶法制备的ZnO薄膜微观结构的影响

黄辉 , 朱明伟 , 宫骏 , 孙超 , 姜辛

金属学报

采用溶胶-凝胶法，通过调整溶剂、溶胶稳定剂和热处理制度在载波片上制备出不同工艺参数的ZnO薄膜。利用X射线衍射（XRD）和扫描电镜（SEM）考察了ZnO薄膜的晶体结构和表面形貌。实验结果表明：采用高沸点溶剂时ZnO薄膜择优取向更强；单乙醇胺为稳定剂时ZnO薄膜择优取向很强，而二乙醇胺或三乙醇胺为稳定剂时择优取向很微弱；预处理温度高于ZnO凝胶膜晶化开始温度时择优取向将减弱；最终处理温度在500℃以下时，随温度提高，晶粒尺寸越大，择优取向越强。

关键词: 溶剂 , sol stabilizer , heat treatment , preferred orientation