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以四面体非晶碳为布拉格反射栅高声阻抗材料的固贴式薄膜体声波谐振器性能仿真分析

陆晓欣 , 朱嘉琦 , 王赛 , 刘罡 , 刘远鹏 , 袁欣薇 , 霍施宇

功能材料

为了提高固贴式薄膜体声波谐振器（SMR）的电学和声学品质,实现四面体非晶碳（ta-C）在体声波器件领域的新应用,建立了以ta-C为布拉格反射栅高声阻抗材料的SMR模型,利用MathCAD仿真研究布拉格反射栅层数对该SMR的谐振特性的影响以及ta-C中sp3杂化含量和高/低声阻抗层厚度偏差对SMR的品...

关键词: 固贴式薄膜体声波谐振器 , 四面体非晶碳 , 布拉格反射栅 , 品质因子