叶剑
,
曹春斌
功能材料
在硅片和石英上利用射频溅射法沉积了TiO2薄膜,并分别在空气中进行了退火处理。利用椭偏光谱仪对硅片上薄膜进行了椭偏测试,利用紫外-可见分光光度计对石英上薄膜进行了透射光谱测试。利用解谱软件对椭偏谱和透射谱进行了建模解谱,获得了不同基片上薄膜在不同退火温度下的折射指数和消光系数,发现和TiO2块材的光...
关键词:
射频磁控溅射
,
TiO2薄膜
,
椭圆偏振技术
,
光学性能
余刚
,
付静
,
刘益环
,
蓝知惟
材料科学与工程学报
本文通过光谱椭偏仪测量浮法玻璃空气面和锡面的偏振信息,利用Cauchy光学模型分析得到浮法玻璃两表面的布鲁斯特角和光学常数,分析结果表明浮法玻璃空气面、锡面、理想玻璃界面的布鲁斯特角分别为56.7°、57°和56.8°,空气面形成疏松的表面层,厚度为2.75nm,折射率小于玻璃本底,锡面形成锡扩散表...
关键词:
光谱椭偏仪
,
空气面
,
锡面
,
布鲁斯特角
,
光学常数
孙瑶
,
汪洪
航空材料学报
doi:10.11868/j.issn.1005-5053.2015.4.005
采用射频反应溅射制备SiNx薄膜,作为以Ag膜为功能层的D/M/D结构透明导电膜中的电介质膜,并研究射频功率、气压以及N2流量对SiNx薄膜光学常数的影响.结果表明,SiNx薄膜具有非晶态结构,光学常数在300～ 2500nm波长范围内符合正常色散关系.椭偏测试及Cauchy模型拟合结果表明,折射率...
关键词:
SiNx膜
,
Ag膜
,
折射率
,
椭偏仪
,
透光率
汤猛
,
李勇男
,
殷波
,
钟传杰
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20163112.1124
基于溶液旋涂法和高压退火工艺制备了 a-IGZO 薄膜。采用椭圆偏振光谱分析仪以及原子力显微镜研究和分析了H 2 O 2对薄膜的表面结构和光学特性的影响。实验结果表明,a-IGZO 前驱液中不含 H 2 O 2的薄膜,退火温度从220℃升高到300℃,薄膜的光学带隙从3．03增加到3．29,而膜表面...
关键词:
a-IGZO 薄膜
,
H2O2 溶液
,
椭圆偏振光谱
,
致密性
许世鹏
,
李玉宏
,
陈维铅
,
林莉
,
李江
,
薛仰全
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.02.019
目的：联合使用光谱型椭偏仪( SE)和分光光度计,精确测定超薄四面体非晶碳薄膜( ta-C)的光学常数。方法由于该薄膜的厚度对折射率、消光系数有很大的影响,仅采用椭偏参数拟合,难以准确得到该薄膜的光学常数,椭偏法测定的未知参数数量大于方程数,椭偏方程无唯一解。因此,加入透过率与椭偏参数同时进行拟合(...
关键词:
ta-C
,
薄膜
,
光学常数
,
椭偏仪
,
分光光度计
,
色散模型
