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喷淋蚀刻模具钢的蚀刻深度研究

宋卿 , 于兆勤 , 张永俊 , 王冠

表面技术

采用喷淋式蚀刻机,以FeCl3基蚀刻液对模具钢进行喷淋蚀刻,通过测定不同蚀刻液温度、不同喷淋压力下的蚀刻深度,考察了几个独立因素对蚀刻深度的影响,得出蚀刻深度的规律性变化:蚀刻深度增长速率随蚀刻液温度的升高而增大,随喷淋压力的增大而先增大,后逐渐减小.分析了蚀刻深度呈此种变化规律的原因.

关键词: 喷淋蚀刻 , 蚀刻液温度 , 喷淋压力 , 蚀刻深度