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纳米复合超硬薄膜的研究现状

赵红雨 , 范秋林 , 宋力昕 , 施尔畏 , 胡行方

无机材料学报

自1994年Veprek等人提出纳米复合超硬薄膜的概念以来,以其优异的力学性能和化学性能而成为当今材料科学领域的研究热点之一.本文将介绍纳米复合超硬薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能和应用前景,及其发展趋势.

关键词: 超硬薄膜 , nanocomposite structure , CVD , magnetron sputtering