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检索条件：关键词=thermal reliability
刘波 , 唐文进 , 宋忠孝 , 徐可为
金属学报
通过等离子体与铜膜表面的分步反应合成了厚约4 nm的CuSiN自组装层。采用高分辨透射电镜(HRTEM)、纳米电子束探针(EDS)和 X射线衍射仪(XRD)表征CuSiN和Si/SiO2/TaN/Ta/Cu(CuSiN)/SiC:H/SiOC:H 多层膜基体系的微结构和热稳定性。结果表明：CuSiN...
关键词: 铜互连 , self-aligned CuSiN , thermal reliability , barrier layers
范爱玲 , 李伟田 , 薛迎坤 , 常随杰 , 马捷
稀有金属
钨螺旋线是行波管的关键部件,随着行波管功率量级和工作频率的不断提高,其高频损耗和散热问题更加突出.为了提高钨表面镀金薄膜均匀性和结合力,前期研究了钨螺旋线表面镀覆金膜的方法,并在高温使用条件下测试镀金膜的热稳定性.采用纳米划痕技术测试镀金薄膜和基体之间结合力大小,对预镀铜5,10,15和20 s,镀...
关键词: 钨螺旋线 , 金膜 , 纳米划痕 , 结合力 , 热可靠性
