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二氧化钒纳米点阵的制备及其红外光学特性研究

严梦 , 李毅 , 方宝英 , 梁倩 , 丁杰 , 王锋 , 覃源 , 佟国香 , 王晓华

稀有金属材料与工程

为了得到相变温度低且变色性能优越的光学材料,使其能够广泛应用于智能窗领域,对周期结构VO2纳米点阵的相变和光学特性展开了研究.用修正的Sellmeier色散模型结合二维点阵周期结构的等效折射率计算了VO2纳米点阵在不同占空比下的反射率和透射率.利用多孔氧化铝模板掩膜溅射法,先在玻璃上制备钒金属纳米点阵,再经热氧化工艺制备出VO2纳米点阵,测试其表面形貌、组分结构、红外反射和透射谱线.结果表明,占空比为0.83的纳米点阵其相变温度有效降低至43℃,在1700 nm处透射率改变量达到29%,表现出良好的变色特性,且透射率整体高于VO2薄膜.说明通过制备较佳占空比的纳米点阵可以有效降低材料的相变温度,提升材料的热致变色性能.

关键词: VO2 , 纳米点阵 , 热致变色 , 薄膜 , 相变

VO2/FTO复合薄膜的制备及其光电特性研究

郑鸿柱 , 李毅 , 陈少娟 , 陈建坤 , 袁文瑞 , 孙瑶 , 唐佳茵 , 刘飞 , 郝如龙

稀有金属

采用直流磁控溅射法在掺氟的SnO2 (FTO)导电玻璃衬底上沉积纯钒金属薄膜,再在常压氮氧混合气氛中退火制备VO2/FTO复合热致变色薄膜,并对复合薄膜的结构、光学特性以及电学特性进行了测试分析.结果表明,薄膜结晶程度较高,表面平滑致密,具有很好的一致性,导电玻璃上的FTO并没有改变VO2择优取向生长,但明显改变了VO2薄膜的表面形貌特征.与VO2薄膜的典型相变温度68℃相比,VO2/FTO复合薄膜的相变温度降低约20℃,热滞回线收窄到5℃,相变前后的红外透过率分别为45%和22%,相变前后电阻率的变化达3个数量级,VO2/FTO复合薄膜优良的光电特性对新型光电薄膜器件的设计开发和应用具有重要意义.

关键词: VO2 , FTO , 氮氧混合 , 热致变色 , 光电特性

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