陈浩
,
彭同江
,
孙红娟
材料导报
doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2016.23.021
以改进 Hummers法获得的氧化石墨为原料制备氧化石墨烯,采用旋涂法通过使用不同浓度的氧化石墨烯水相分散液制备不同厚度的氧化石墨烯薄膜湿敏元件。采用 X 射线衍射仪(XRD)、红外光谱仪(FT-IR)、扫描电子显微镜(SEM)、扫描探针显微镜(SPM)和湿度测试仪对氧化石墨烯薄膜的结构、形貌和湿敏性能进行分析。结果表明,在室温下随氧化石墨烯薄膜厚度减小(139 nm、102 nm、65 nm、35 nm 和18 nm),湿敏元件响应时间由10 s缩短至2 s,恢复时间由37 s缩短至8 s；在11.3%~93.6% RH 范围内,湿敏元件电阻随湿度增加而显著减小,从兆欧级减小至千欧级,变化达到3个数量级；湿敏元件的最佳响应时间为2 s,恢复时间为8 s,最高灵敏度可达96.06%,具有较好的湿敏性能。
关键词:
氧化石墨烯
,
薄膜厚度
,
旋涂法
,
叉指电极
,
湿敏性能
高雅
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赵清华
,
史建芳
,
段倩倩
,
李刚
,
王开鹰
人工晶体学报
通过溶胶-凝胶法在硅基底上制备不同烧结温度(700℃、800℃、900℃)下的CaCu3 Ti4O12 (CCTO)薄膜.分别采用X射线衍射仪(XRD)和扫描电镜(SEM)对薄膜的形貌、组分和结晶状况进行表征,发现在800℃烧结温度下CCTO薄膜的结晶状况最佳.然后,采用半导体特性分析仪测试薄膜的电容-电压(C-V)特性和电流-电压(I-V)特性,得到薄膜的最大比电容和阈值电压分别为3.2.F/cm2和47 V.最后,使用台阶仪对两种浓度的先驱溶液在不同转速下所制备的薄膜厚度进行了研究.
关键词:
CaCu3Ti4O12
,
烧结温度
,
电学特性
,
薄膜厚度
