田斌
,
刘宝辉
,
孟春玲
,
侯媛媛
,
岳文
中国表面工程
doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20161114003
为进一步改善氮化钛涂层的摩擦学性能,分别采用高剂量Mo离子注入和低温离子渗硫技术对TiN涂层表面进行处理.采用扫描电子显微镜(SEM)、光学形貌仪、扫描俄歇系统(SAM)、X射线衍射仪(XRD)和纳米压痕仪等分析TiN涂层处理前后的表面形貌、元素分布、微观结构和纳米硬度.利用球盘摩擦磨损试验机在干摩擦条件下考察涂层的摩擦学性能,并利用光学形貌仪和SEM进行磨损表面分析.结果表明,大剂量Mo离子注入后,TiN涂层表面Mo离子深度接近200 nm,涂层硬度明显降低,涂层磨损剧烈程度得到显著改善,磨损率和摩擦因数分别降低约35％和40％;低温离子渗硫复合处理后,TiN涂层表面溅射明显,Mo的深度降低约50％,摩擦学性能难以进一步明显改善.
关键词:
离子注入
,
钼
,
氮化钛
,
磨损
