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Cu基铜铁矿结构透明导电氧化物薄膜的研究进展

刘文婷 , 张赟 , 吴漫漫 , 李勇安

材料导报

介绍了Cu基铜铁矿结构透明导电氧化物(TCO)材料的结构特点,综述了几种主要Cu基铜铁矿结构TCO材料如CuAlO2、CuGaO2、CuInO和CuSeO2在理论计算以及实验研究方面的最新进展.其中,CuAlO2的相关研究开始较早,数量较多;由于可能具有较高的p型导电特性,CuScO2的相关研究也较...

关键词: 透明导电氧化物 , Cu基 , 铜铁矿 , 掺杂

低压化学气相沉积法生长 B 掺杂 ZnO 薄膜及其性能

徐小科 , 赵俊亮 , 李效民 , 吴永庆 , 杨哲 , 何兵

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.07.009

低压化学气相沉积法生长的 B 掺杂 ZnO 薄膜具有良好的光散射特性，可以用作硅基薄膜太阳能电池的前电极.以 Zn (C2 H 5)2和 H 2 O 为前驱体， B2 H 6为掺杂物，通过低压化学气相沉积法在玻璃衬底上生长了 B 掺杂 ZnO 薄膜.通过 XRD、FESEM、四探针测试仪等手段对样品...

关键词: BZO , 透明导电氧化物 , 生长机理 , 雾度 , 低压化学气相沉积(LPCVD)

半导体学报（英文版） doi:10.1088/1674-4926/37/2/022001

关键词:

B掺杂量对LPCVD生长大面积ZnO透明导电薄膜性能的影响

黄建华 , 刘怀周

人工晶体学报

采用低压化学气相沉积(LPCVD)技术在大面积的玻璃衬底上制备了B掺杂ZnO(BZO)透明导电薄膜,研究了不同B2H6掺杂量对BZO薄膜微观形貌、导电能力及其均匀性、透光率等性能的影响.结果表明,所制备的BZO薄膜表面具有自生长的绒面结构;B2H6掺杂量由30 sccm增加到60 sccm,BZO薄...

关键词: 低压化学沉积 , B掺杂ZnO薄膜 , 透明导电氧化物 , 方块电阻 , 均匀性 , 绒面结构

ITO/BZO复合薄膜制备及在非晶硅薄膜太阳能电池的应用

黄建华 , 刘怀周

人工晶体学报

采用低压化学气相沉积(LPCVD)法在沉积ITO薄膜的玻璃衬底上制备了硼掺杂氧化锌(BZO)薄膜,研究了ITO缓冲层对ITO/BZO复合薄膜表观形貌、导电性能和光学性能的影响;并研究了ITO/BZO薄膜在非晶硅薄膜太阳能电池的应用.结果表明,以ITO作为缓冲层来沉积BZO薄膜,有利于BZO晶粒尺寸的...

关键词: 透明导电氧化物 , 硼掺杂氧化锌 , 复合薄膜 , 低压化学沉积 , 非晶硅薄膜太阳能电池