曹礼强
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赵北君
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刘林
人工晶体学报
以工业硅为原料采用改良西门子法生产出质量优良的多晶硅,分别采用ICP-MS、低温傅立叶变换红外光谱、硅多晶气氛区熔基P检验法和真空区熔基B检验法等,对三氯氢硅中的杂质和多晶硅产物中的P、B、C、O含量及其P、B电阻率进行了检测,报道了改良西门子法获得的优质多晶硅产品质量检测数据；对影响多晶硅产物质量的各种因素,包括原料混合气进料量变化,还原炉内生长温度,生长过程中AEG电气的电压、电流变化,以及中间产品精制三氯氢硅、氢气的质量等进行了分析讨论.研究结果对于稳定生长高质量多晶硅具有重要参考价值.
关键词:
改良西门子法
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三氯氢硅
,
多晶硅
,
产品质量分析
潘红星
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曾亚龙
,
朱明
,
李光明
材料导报
采用氢化技术将四氯化硅转化为三氯氢硅是目前四氯化硅得到合理利用的有效手段.以此为主线,在已有研究工作和生产经验的基础上,从原理上分析了四氯化硅氢化反应,总结了影响氢化转化率的主要因素,提出了合理化建议,为多晶硅的生产提供了有价值的参考.
关键词:
四氯化硅
,
氢化
,
三氯氢硅
,
多晶硅
